如何提高紫外光刻機(jī)的對準(zhǔn)精度?
提高紫外光刻機(jī)的對準(zhǔn)精度是一個復(fù)雜的過程,涉及多個方面的優(yōu)化和調(diào)整。以下是一些關(guān)鍵措施:1、優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng):確保紫外光源的穩(wěn)定性和均勻性,使用高質(zhì)量的透鏡和反射鏡來減少像差和畸變。定期清潔和維護(hù)光學(xué)元件,防止灰塵和污漬影響成像質(zhì)量。采用先進(jìn)的光學(xué)對準(zhǔn)技術(shù),如激光干涉對準(zhǔn),可以提高對...